MSD系列小功率直流磁控溅射电源

主要型号：

主要特点：
   A 采用先进的电流型开关电源技术，减小输出储能元件，
同时提高了抑制打火及重启速度，应用在铝靶镀膜优势更为明显。
   B 具备恒流/恒功率模式可选。恒功率模式相对于传统的恒流模式，
更能保证镀膜工艺的重复性。
  C 具有理想的电压陡降特性，自动识别伪打火现象，
充分满足磁控溅射工艺过程的连续性。
  D 可选择手动控制/模拟量接口控制，可选配RS485通讯接口。
  E 专门为试验型真空设备定制，相对生产型设备的直流磁控溅射电源，
为客户减小电源体积和降低成本
采用先进的PWM脉宽调制技术，使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件，
体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠，生产工艺严格完善。
该系列产品采用先进的DSP控制系统，充分保证镀膜工艺的重复性，
并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能，
具有极佳的负载匹配能力，既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度；
主要参数均可大范围连续调节；
方便维护，可靠性高；
PLC接口和RS485接口扩展功能，方便实现自动化控制。

主要用途：

直流磁控溅射用于镀制各种金属。

电源的发展现状20世纪90年代开始，开关电镀电源开始在我国的合资和外资企业的电路板（PCB）的电镀生产线上使用。20世纪90年代中后期，国内许多整流器生产厂开始尝试研制大功率高频开关电源，一些原来生产小功率开关电源也开始进入大功率开关电源的领域，并在全国范围内推广应用。国内每年采用高频开关金属表面处理电源、电流在5000A以下的市场总量在5000万元以上，特别是在某些行业，例如印刷板电镀、贵重金属电镀等，输出电流小于500A的金属表面处理电源使用率已超过50％。近年来有些高频开关电源生产厂开始采用的是积木式、小功率并联输出方式研制大电流电源，但由于存在许多技术上的问题尚未解决，目前还不能应用到生产中。

真空镀膜电源厂家告诉你高频开关电镀电源应用在金属表面处理及小功率范围内的国内市场已经接受，具有广阔的市场前景。但产品主要局限于1500A以下的中小功率领域，在国内也只有少量厂家生产，从技术角度看主要限于硬开关变换模式和模拟控制方式，可靠性、EMC及工艺结构等方面具有明显的局限性，同焊接等领域全面推广应用开关式电源的景况具有较大差距。

高频高效化在较大功率领域采用高频开关电源代替传统整流电源，降低损耗，提高功率密度。目前电镀开关电源主要局限于1500A以下的中小功率领域，所以通过运用先进的功率电子器件和高频逆变技术，克服目前功率器件和磁性材料输出功率的局限性，通过变压器串并联的方式发挥现有开关管的功率输出能力，提高单机功率输出级别；采用多单元积木式并联技术进一步提高电源的输出能力。

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