MSB中频磁控溅射真空镀膜电源
商品详情
性能特点
技术参数
主要型号:
型号 | 功率(kW) | 蕞大工作电流(A) | 外形尺寸 | 冷却方式 | 空载电压(V) | 工作电压(V) |
MSB-10k | 10 | 12.5 | 1单元 | 风冷 | 1000 | 150~800V |
MSB-20k | 20 | 25 | 1单元 | |||
MSB-30k | 30 | 37.5 | 2单元 | |||
MSB-40k | 40 | 50 | 2单元 | |||
MSB-20k | 20 | 25 | 1单元 | 风水冷 | 1000 | 150~800V |
MSB-30k | 30 | 37.5 | 1单元 | |||
MSB-40k | 40 | 50 | 1单元 | |||
MSB-60k | 60 | 75 | 2单元 | |||
MSB-80k | 80 | 100 | 2单元 | |||
MSB-100k | 100 | 125 | 3单元 | |||
MSB-120k | 120 | 150 | 3单元 |
主要特点:
A 采用先进的电流型开关电源技术,减小输出储能元件,
同时提高了抑制打火及重启速度,应用在铝靶镀膜优势更为明显。
B 具备恒流/恒功率模式可选。恒功率模式相对于传统的恒流模式,
更能保证镀膜工艺的重复性。
C 具有理想的电压陡降特性,自动识别伪打火现象,
充分满足磁控溅射工艺过程的连续性。
D 主要参数可大范围调节
E 可选择手动控制/模拟量接口控制,可选配RS485通讯接口。
采用先进的PWM脉宽调制技术,使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件,
体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠,生产工艺严格完善。
该系列产品采用先进的DSP控制系统,充分保证镀膜工艺的重复性,
并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能,
具有极佳的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性,又提高了靶面清洗速度;
主要参数均可大范围连续调节;
方便维护,可靠性高;
PLC接口和RS485接口扩展功能,方便实现自动化控制。
MSB系列双极脉冲磁控溅射电源(中频电源)
主要用途:
双极脉冲磁控溅射电源用于中频孪生靶磁控溅金属或非金属材料,特别适合于反应磁控溅射。能增加离化率,减少电荷积累引起的异常放电,预防靶表面中毒现象。
大功率开关电源厂家给你介绍开关电源和模仿电源的差异。
在杂乱的多体系事务中,相对模仿电源,数字电源是经过软件编程来完成多方面的运用,其具有的可扩展性与重复运用性运用户能够便利更改作业参数,优化电源体系。经过实时过电流维护与办理,它还能够削减外围器材的数量。
数字电源有用DSP操控的,还有用MCU操控的。相对来讲,DSP操控的电源选用数字滤波方法,较MCU操控的电源更能满意杂乱的电源需求、实时反应速度更快、电源稳压性能十分好。
数字电源有什麽优点它首先是可编程的,比如通讯、检查、遥测等一切功用都可用软件编程完成。另外,数字电源具有高性能和高可靠性,十分灵敏。
搅扰:单片机中数字和模仿之间,由于数字信号是频谱很宽的脉冲信号,因此主要是数字有些对模仿有些的搅扰很强;不只通常都选用数字电源和模仿电源分隔、二者之间用滤波器衔接,在一些请求较高的场合,例如某些单片机内部的AD变换器进行AD变换时,常常要让数字有些进入休眠状态,绝大有些数字逻辑停止作业,以避免它们对模仿有些构成搅扰。 假如搅扰严峻,乃至能够别离用两个电源,通常用电感和电容阻隔就行了. 也能够将全部板子上数字和模仿有些的电源别离联在一同,用别离的通路直接接到电源滤波电容的焊点上. 假如对抗搅扰请求不高,也能够随意接在一同.