ISP离子源电源

主要型号：

主要特点：
   A具有行动稳定电压功能，具有理想的电压陡降特性，有效抑制离子源源头表面打火。
   B 直流叠加脉冲输出，峰值可达2000V。
   C 频率40kHz，占空比45%~90%。
   D 可选择手动控制/模拟量接口控制，可选配RS485通讯接口。
采用先进的PWM脉宽调制技术，使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件，
体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠，生产工艺严格完善。
该系列产品采用先进的DSP控制系统，充分保证镀膜工艺的重复性，
并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能，具
有极佳的负载匹配能力，既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度；
主要参数均可大范围连续调节；
方便维护，可靠性高；
PLC接口和RS485接口扩展功能，方便实现自动化控制。

主要用途：

ISP离子源电源适用于阳极层离子源驱动电源。

真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的方式堆积到资料外表（通常是非金属资料），归于物理气相堆积工艺。由于镀层常为金属薄膜，故也称真空金属化。广义的真空镀膜还包含在金属或非金属资料外表真空蒸镀聚合物等非金属功用性薄膜。在所有被镀资猜中，以塑料最为常见，其次，为纸张镀膜。相对于金属、陶瓷、木材等资料，塑料具有来历充足、性能易于调控、加工方便等优势，因此品种繁多的塑料或其他高分子资料作为工程装修性结构资料，大量使用于轿车、家电、日用包装、工艺装修等工业领域。

真空镀膜机开机和关机注意事项有哪些？简单地讲，真空镀膜机不管在开机还是在关机时都说有一定的技巧和安全隐患的；接下来的时间里，下面就由真空镀膜电源的小编来给大家详细介绍下有关真空镀膜机开机和关机注意事项吧。

(1)熟练掌握真空镀膜机安全操作规程

(2)开机前先检查水、电、气是否正常。(冷却水压力一般可在0.2MPa以上，气在0.4Mpa以上，电压在370-390V)。

(3)开机步骤：气动机械泵，约30s后开前级阀，开复合真空计，待前级抽至10Pa以下且稳定时再开启扩散泵(必须到后面查看以下电炉丝是否发红)。

(4)关机步骤：关电离计，关闭高阀，切断加热器电源，用前级泵抽前级自然降至室温，关前级管道阀，停止机械泵，停冷却水、停电、停气。

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