MSD系列小功率直流磁控溅射电源
商品详情
性能特点
技术参数
主要型号:
型号 | 功率(kW) | 工作电流(A) | 外形尺寸 | 冷却方式 | 空载电压(V) | 工作电压 (V) |
MSD-500W | 0.5kW | 1.0 | 482*132*440 (WHD)[3U] | 风冷 | 750 | 100~500V |
MSD-1000W | 1kW | 2.0 | ||||
MSD-2000W | 2kW | 4.0 | ||||
MSD-5kW | 5kW | 8.0 | 482*175*550 (WHD)[4U] | 风冷 | 1000 | 150~800V |
主要特点:
A 采用先进的电流型开关电源技术,减小输出储能元件,
同时提高了抑制打火及重启速度,应用在铝靶镀膜优势更为明显。
B 具备恒流/恒功率模式可选。恒功率模式相对于传统的恒流模式,
更能保证镀膜工艺的重复性。
C 具有理想的电压陡降特性,自动识别伪打火现象,
充分满足磁控溅射工艺过程的连续性。
D 可选择手动控制/模拟量接口控制,可选配RS485通讯接口。
E 专门为试验型真空设备定制,相对生产型设备的直流磁控溅射电源,
为客户减小电源体积和降低成本
采用先进的PWM脉宽调制技术,使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件,
体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠,生产工艺严格完善。
该系列产品采用先进的DSP控制系统,充分保证镀膜工艺的重复性,
并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能,
具有极佳的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性,又提高了靶面清洗速度;
主要参数均可大范围连续调节;
方便维护,可靠性高;
PLC接口和RS485接口扩展功能,方便实现自动化控制。
主要用途:
直流磁控溅射用于镀制各种金属。
日常生活中我们经常需要使用到高压电源,高压电源,又名高压发生器,一般是指输出电压在五千伏特以上的电源,一般高压电源的输出电压可达几万伏,甚至高达几十万伏特或更高,下面大功率开关电源厂家小编就来介绍一下高压电源的用途有哪些?

高压电源应用场合:
(1)大专院校,科研院所实验室,电器产品检测、调试
(2)电子产品检测、老化、气体放电、气体除尘、真空电镀。如:电镀电源、溅射镀膜电源等。
(3)用于电子元器件的例行试验
(4)速调管、磁控管、电子枪试验供电、X射频测试电源
(5)高压电容器充电电源
(6)整机老练以及其它一切需要使用高电压输出的场合
高压电源的用途有哪些:
(1)许多使用高压电源,包括一个高电压功率X光机,激光高压电源,高电压功率谱分析,无损检测高压电源,高电压功率半导体制造设备,毛细管电泳,高压电源高电压电源的无损检测
(2)粒子喷射于半导体技术的高电压电源,高电压电源物理气相沉积(PVD),离子束沉积纳米光刻高压电源,离子束辅助沉积,电子束蒸发,电子束焊接,离子源,DC磁控管反应溅射,玻璃/涂层织物,辉光放电,微波处理试验电压的电容器,CRT显示器测试
(3)高压电缆故障测试(PD测试),测试TWT,H-POT测试。粒子加速器,自由电子激光器,中子源,回旋加速器源,脉冲生成电容器电感器网络,马克思高电压脉冲发生器,电容器充电器。
(4)微波加热,RF放大器,纳米技术应用中,静电技术,制备静电纳米纤维,使用高压电源的高压电源核仪器和类似的产品。

