真空镀膜电源生成工艺优化,稳定性显著增强

2025-03-21
  • 工艺优化的方式5:

    • 电路设计改进:设计电压、电流双闭环控制电路,可实时对输出电压电流进行控制,有效解决溅射过程中阴极靶面的不清洁引起弧光放电造成大电流冲击引起电源损坏的问题。同时,采用 ZVS 零电压移相全桥技术,实现高精度输出电压、电流,提高电源的效率和稳定性。

    • 控制算法优化:采用数字化 DSP 控制技术,自动控制电源的恒压恒流状态,在起弧和维弧时能自动快速控制电压电流,使起弧和维弧工作更稳定,稳流精度大大提高。针对新靶清洗时存在的频繁打火现象,设计抑制打火自动保护功能,既保证了靶面清洗工艺的稳定性,又提高了靶面清洗速度。

    • 制造工艺改进:通过改进制造工艺,提高电源的生产质量和一致性。例如,采用先进的焊接工艺、封装工艺等,确保电源的各个部件之间连接可靠,减少因制造工艺问题导致的电源故障。

  • 稳定性增强的意义:

    • 提高镀膜产品质量:稳定性显著增强可以提高镀膜产品的质量和一致性,降低不良品率。例如,稳定的电源性能可以保证镀膜过程中薄膜的厚度均匀性和成分一致性,从而提高镀膜产品的光学性能、机械性能等关键指标。

    • 降低维护成本:稳定的电源性能有助于延长设备的使用寿命,减少设备的维修和更换次数,降低维护成本。同时,稳定性增强还可以提高生产效率,减少因设备故障导致的生产停滞时间,提高企业的经济效益。


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