电路设计改进：设计电压、电流双闭环控制电路，可实时对输出电压电流进行控制，有效解决溅射过程中阴极靶面的不清洁引起弧光放电造成大电流冲击引起电源损坏的问题。同时，采用 ZVS 零电压移相全桥技术，实现高精度输出电压、电流，提高电源的效率和稳定性。
控制算法优化：采用数字化 DSP 控制技术，自动控制电源的恒压恒流状态，在起弧和维弧时能自动快速控制电压电流，使起弧和维弧工作更稳定，稳流精度大大提高。针对新靶清洗时存在的频繁打火现象，设计抑制打火自动保护功能，既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度。
制造工艺改进：通过改进制造工艺，提高电源的生产质量和一致性。例如，采用先进的焊接工艺、封装工艺等，确保电源的各个部件之间连接可靠，减少因制造工艺问题导致的电源故障。
